第3年
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非接触、快速灵活、功能多的一体化测量系统
3D光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量（PSI）、白光垂直扫描干涉测量（VSI）和单色光垂直扫描干涉测量（CSI）等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性（稳定性）定量地反映出被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。
集成电路激光槽测量
MEMS结构轮廓形貌、三维尺寸
太阳能电池栅线测量
集成电路晶圆背面减薄粗糙度
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